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瀰漫性大 B 細胞淋巴瘤治療全解析:標準療法、復發因應與 CAR-T 新突破

2025-10-06 17:13:08

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劉育志醫師:大家好,我是劉育志醫師,歡迎王銘崇醫師來到照護線上。

王銘崇醫師:大家好,我是高雄長庚血液腫瘤科王銘崇醫師。

劉育志醫師:請問瀰漫性大 B 細胞淋巴瘤好發在哪些族群?

王銘崇醫師:在台灣,瀰漫性大 B 細胞淋巴瘤主要好發的年齡大概是在 60 到 65 歲。高風險群的病人包括有一些病毒感染,譬如說 EB 病毒的感染,或者是 HIV 病毒的感染,還有一些是免疫低下的病人,包括有一些風濕免疫科的疾病。

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劉育志醫師:請問瀰漫性大 B 細胞淋巴瘤的症狀有哪些?

王銘崇醫師:瀰漫性大 B 細胞淋巴瘤可能長在全身所有有細胞的位置,比較常見的大概就是在淋巴結腫大,有六成是在脖子上,當然有一些是在非淋巴結的器官上面,譬如說包括腦部、胃、骨髓、脾臟、肝臟等等。除了局部的症狀以外,可能還會有一些全身性的症狀,包括體重減輕、發燒、皮膚癢、盜汗等等。

劉育志醫師:請問要如何確定診斷瀰漫性大 B 細胞淋巴瘤?

王銘崇醫師:切片檢查是非常重要的部分,因為有了切片檢查才會有正確的病理報告。接下來我們就是要做分期,或者是分他的危險因子,包括了抽血、影像學的檢查,全身的正子攝影掃描,對於瀰漫性大B細胞淋巴瘤來說,是非常重要的檢查。

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劉育志醫師:請問目前的第一線治療方案為何?

王銘崇醫師:目前標準的治療就是單株抗體加上化學治療。如果是比較早期的,痊癒的機會有 90%,但是如果比較晚期的,痊癒的機會可能降到了 40%。但是整體而言,如果可以接受標準完整的治療,整體的成功率大概是在六成左右。

劉育志醫師:如果疾病復發,臨床上會採取何種治療策略?

王銘崇醫師:如果年紀比較輕,考慮的就是做自體幹細胞移植。但是可以接受自體幹細胞移植的病人比例不高,所以有一些病人他就得要接受其他的藥物的治療。新的療法分四大類,第一大類是新的單株抗體的治療,第二大類是所謂的 ADC,第三大類就是雙特異性抗體,第四大類就是 CAR-T 的治療。

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劉育志醫師:請問 CAR-T 治療適合用在哪些族群?

王銘崇醫師:目前在台灣的 CAR-T 治療,是使用在不適合造血幹細胞移植的病人,或者是造血幹細胞移植復發之後,或者是第三線以上的病人。

劉育志醫師:請問在進行 CAR-T 治療前有哪些準備事項?

王銘崇醫師:所謂 CAR-T 的治療,就是把病人自己本身的T細胞收集下來。如果越早收集,效果就會越好。我們會希望能夠在二線治療的之前,就考慮把病人的T細胞收集下來,一旦復發,就可以趕快去做 CAR-T 細胞的製造,也可以增強 CAR-T 細胞毒殺的能力。

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劉育志醫師:請問 CAR-T 治療在瀰漫性大B細胞淋巴瘤的治療成效?

王銘崇醫師:大概有 50% 的病人,在以前認為說是藥石罔效的病人,(透過 CAR-T 治療)有 40%,它可以讓這些細胞完全消失掉,所謂的完全緩解。

劉育志醫師:請問醫院可以提供患者哪些支持與資源?

王銘崇醫師:現在很多醫院都有癌症中心,會有不同的個管師,個管師可以提供病人相當多的協助,包括治療上實質的協助、心靈的支持,甚至包括費用、保險方面的諮詢。也有一些網路上的平台,在介紹這些惡性淋巴瘤,或者是一些病友他們的分享。其實最大、最大的支持,是要跟病人講清楚,他為什麼不用開刀,不是因為不能開刀,讓他免於恐懼。我也常跟病人講,瀰漫性大 B 細胞淋巴瘤,雖然是第三期、第四期,它不叫末期,它叫晚期。治療痊癒的機會,在以前大概是三到四成,現在我們朝向超過一半以上的病人,希望能夠治癒成功,讓病人免於恐懼,對病人來講,是最大最大的幫助。

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王銘崇醫師:CAR-T 的治療,有四成到一半的再復發的病人,可以得到痊癒的機會。這樣的療法,對瀰漫性大B細胞淋巴瘤的治療,是非常非常的有前景。

劉育志醫師:感謝王醫師接受我們的訪談,我們下次再見,掰掰。

王銘崇醫師:掰掰。

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做人要中規中矩?先搞懂什麼是規和矩!

2025-10-03 16:51:06

《莊子》記載一位叫做徐無鬼的人,由一位朋友引介,去見魏武侯。起初講些大道理,魏武侯沒什麼反應,接著談怎麼相狗、相馬,魏武侯聽了哈哈大笑,高興的不得了。

徐無鬼見過魏武侯,他朋友問:「我和國君談《詩經》、《尚書》、《禮記》、《樂經》,他都無動於衷,您說了些什麼,讓他那麼高興?」

徐無鬼說:「我對你們國君說,相馬,要看牠是否中規中矩,也就是圓的圓,該方的方;不過最好的馬,是不能用尋常的規矩衡量的。」徐無鬼的意思是說,真正的人才,超群絕倫,同樣不能用尋常的規矩衡量。這就是成語「中規中矩」的出處。

圖/AI 生成

孟子也說過一句話:「離婁之明,公輸之巧,不以規矩,不能成方圓。」離婁是古代一位眼力極好的人。公輸,即公輸班,也就是魯班,他是工匠的祖師爺。這句話的意思是說:即使眼力像離婁那麼好,手藝像公輸班那麼巧,沒有規(圓規)和矩(曲尺),也畫不出方和圓。

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因此,規就是圓規,矩就是L形的曲尺。莊子和孟子借用這兩種木匠常用的工具,發抒自己的思想。好了,循例該造兩個句了。

我們做人做事,都要中規中矩,嚴守分寸。

班長為人正直,中規中矩,深受同學信任。

接下去章老師要談談古時木工使用的工具。如今木工使用電鋸、電鑽、電刨等,既快速又省力。章老師小時候,台灣正處於農業社會往工商社會過度的時期,許多傳統木工工具,不但親眼見過,有些還使用過呢。限於篇幅,只能介紹少數幾種。圓規和曲尺,隨處可見,這裡就不費筆墨了。

傳統的鋸子,是個「工」字形木框,中間那根木頭,插在榫孔上,並不鎖死。木框的一側掛上鋸條,一側綁上雙股繩子,插上木片,以絞動木片來調整繩子的鬆緊。這種鋸子有大有小,小的用來鋸木板、木條;大的用來鋸大木料,或鋸斷大樹,鋸的時候由兩個人操作,不停地前推後拉。

傳統鑽孔器具,稱作牽鑽,由鑽桿、拉桿和牽繩構成;鑽桿頂部有個握把,底部鑲上鑽頭;牽繩繫在鑽桿和拉桿上。鑽孔時,一手按住握把,一手上下牽動拉桿,牽繩就會帶動鑽桿旋轉。章老師小時候上勞作課,曾使用過牽鑽。

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將木板刨平的工具,稱為刨子,主要由刨刀和刨床構成。刨刀是精鋼製的,磨得很利;刨床是木頭製的,有個插口,用來插上刨刀和調整鬆緊的木塊。刨木板時,只要來回推動,就可以刨出俗稱「刨花」的薄木片。章老師仍保有一個刨子,因長期沒用,刨刀早已鏽了。

在木板上畫線的工具稱為墨斗,傳說是魯班發明的。主要有墨池和墨輪構成,墨池裡裝墨汁,墨輪上繞著線繩。線繩穿過墨池,染成黑色。線繩末端繫在用來固定位置的「班母」上。位置固定好了,將已染色的線繩向下彈動,就可以畫出直線。

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主動脈瘤為何致命卻無感?醫師解析最新支架手術

2025-09-30 16:28:50

請問什麼是主動脈瘤?

陳紹緯醫師:主動脈瘤並不是我們傳統認知的惡性腫瘤,並不會造成遠端轉移,也不是什麼不治之症。主動脈瘤指的就是血管異常的膨大。一般而言,主動脈瘤的定義是大於5公分。根據不同的位置,包括了升主動脈、主動脈弓、降主動脈以及腹主動脈,不同的位置會有不同的治療條件。主動脈瘤如果及早發現,一般治療效果都相當的好。但是如果拖到了主動脈破裂,手術風險就相當的高。

請問主動脈瘤的危險因子為何?

陳紹緯醫師:常見的主動脈瘤危險因子包括了年紀,年紀越大的人越容易發生主動脈瘤。此外,抽菸、家族病史以及高血脂,都有可能增加主動脈瘤的風險。

請問主動脈瘤該如何治療?

陳紹緯醫師:根據主動脈瘤不同的位置,會決定它不同的治療方式。絕大多數的病人都可以利用主動脈支架微創手術來進行治療。但是升主動脈瘤由於靠近心臟,主動脈支架並不適合治療,必須藉由傳統開胸心臟手術來治療升主動脈瘤。

請問開放式手術有哪些優點?

陳紹緯醫師:如果主動脈瘤發生在主動脈根部、升主動脈這些位置,目前都只能以傳統的開放式手術進行。此外,開放式手術最大的好處是一勞永逸。我們在手術中將病灶主動脈瘤切除,並植入新的人工血管,長期的結果相當可靠。

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請問主動脈支架手術有何優點?

陳紹緯醫師:絕大多數的病人可以藉由腹股溝打針、穿刺的方式進行手術,沒有任何手術切口。在先進的影像導引系統定位之下,我們將主動脈支架置放於病灶。主動脈支架撐開之後會將血液導流,使血液不會進入主動脈瘤,因此主動脈瘤會逐漸萎縮甚至消失。主動脈支架手術最大的好處就是微創、低侵襲性。傳統開放式手術由於傷口較大,恢復較慢,會有出血性的危險。藉由支架手術,可以大幅降低手術的死亡風險以及出血的風險。

請問主動脈支架手術可能出現哪些併發症?

陳紹緯醫師:主動脈支架手術雖然微創、低侵襲性,可以有效降低手術的風險。然而主動脈瘤的治療長期效果還是需要詳細的追蹤。有10%到20%的病人,在長期追蹤中會發生主動脈支架移位、主動脈支架滲漏的問題,有可能需要經過二次手術再次治療。部分的病人,在反覆治療之後仍然沒有辦法有效解決,最後必須以開放式手術來進行。

請問主動脈支架手術有哪些新的進展?

陳紹緯醫師:目前有一些新的技術可以輔助讓主動脈支架手術更安全,效果更理想。
首先是藉由先進的影像系統,在混成手術室中執行這項手術,可以達到更精準的定位,來降低側漏以及主動脈支架移位的併發症。傳統主動脈支架手術在鼠蹊部仍然必須要有手術切口,鼠蹊部的手術切口常常會有感染以及淋巴滲液的併發症。可以藉由新技術血管縫合釘,在沒有傷口、打針穿刺的狀況下,就可以完整地進行主動脈支架手術。主動脈支架手術最大的併發症就是主動脈支架出現滲漏或者是位移的風險。近年來,研發出新型的技術——主動脈支架錨釘。藉由錨釘的固定,可以將主動脈支架有效地固定在主動脈,降低位移以及滲漏的風險。

請問什麼是胸主動脈分支支架?

陳紹緯醫師:主動脈瘤的治療最困難的位置就是在主動脈弓。由於主動脈弓解剖構造複雜,主動脈支架常常難以有效地應用。新型的主動脈分支支架可以有效解決主動脈弓主動脈瘤的問題。藉由先進的新型支架,可以將腦部的血管藉由分支支架灌流。在部分的病人可以免除開胸的危險性,採用微創主動脈支架就能解決所有的主動脈瘤病灶。

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陳紹緯醫師:在十年前,一位八十多歲的老先生因為主動脈瘤破裂、休克,緊急送醫。當時我們採用緊急手術,進行開胸主動脈置換手術,將升主動脈置換,挽救病人生命。
經過10年之後,後端的主動脈弓又出現新的主動脈瘤。病人已經90多歲,不適合再用傳統開放式手術。我們採用新型的胸主動脈分支支架來進行治療,讓病人免除心臟停止、開胸,以及降低出血的風險,得到良好的治療。

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平凡結構藏智慧,毛髮打結的微觀探索

2025-09-28 10:10:00

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本文轉載自顯微觀點

「毛髮打結」的影像看似平凡無奇,卻不僅呈現自然界隱微的結構,還蘊藏著對生命深刻的敬意。憑藉著這幅作品,格爾德.岡特(Gerd Günther)更從全球顯微攝影大賽(2024 Global Image of the Year,IOTY)中脫穎而出,榮獲材料科學優勝獎。

圖/顯微觀點

令人驚嘆的是,獲獎者岡特的本業並非科學家或攝影師,而是一位農場主人,顯微攝影只是他「業餘」的愛好。

岡特於1958年出生於德國杜塞道夫;中學畢業後,於哥廷根大學學習農業科學,並從1986年後一直在杜塞道夫以自耕農為業。

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好奇的種子在顯微鏡下發芽

1970 年代,岡特中學期間,受到學校老師啟發開始接觸顯微攝影,讓他對這陌生又熟悉的結構產生濃厚興趣。當時岡特使用黑白底片,留下顯微攝影最初的記憶。直到 2000 年左右,數位時代來臨、數位相機系統問世,顯微攝影門檻下降,他才開始專注於顯微攝影的創作。

「……仔細觀察自然界中常見的事物,可以發現意想不到的特質,令人心生敬畏……我的目標是將普通的課本知識提升到知識認知和理解的層面,使欣賞成為一種享受。 」-《一粒沙中:探索大自然的設計》,安德烈亞斯‧費寧格(A. Feininger,1986

這句費寧格的話醒目地呈現在岡特架設的顯微攝影作品網站中,宛如一盞明指引創作方向的明燈,點明岡特攝影的核心理念。也透露出他的攝影品大多出自於對自然的敬畏以及日常平凡細節的好奇心,讓科學變得富有美感與哲理。

「你只需走出家門,就能進入微觀世界」,岡特認為顯微攝影最吸引人之處在於,不需長途跋涉,就能不斷發現新的結構、形狀、生命形態和色彩。而驅動他持續探索微觀世界的動力,是對大自然無盡的好奇,以及對迷人卻隱而不現寶藏的嚮往。

因此,從植物的葉脈到昆蟲的鱗片、從肥皂泡泡到礦物晶體,都是他顯微鏡捕捉的影像。為了呈現更完美的影像,他也會在閒暇時,利用各種DIY小工具改良拍攝流程,讓作品兼具科學性與美感。

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連結萬物平等的生命之結

2024全球顯微攝影大賽的獲獎作品《馬鬃與人髮之結》則是岡特探索微觀世界精神的最佳表現。

格爾德.岡特(Gerd Günther)。圖片/IOTY官網

這幅作品將馬鬃與人髮精心打結後(縱向人髮、橫向馬鬃),以明視野方式進行拍攝。透過150倍放大的視野,觀者得以清晰地看見兩種毛髮的粗細差異,但無論是人髮還是馬鬃,其外層覆蓋著如同魚鱗般的角蛋白鱗片,結構幾乎別無二致。

評審團盛讚這副影像是「視覺上極具感染力的證明:生命的共通性遠比差異更顯著。」

「我每天都與馬打交道,我對人髮和馬鬃在強度和外觀上的差異很感興趣」,岡特提到要創造出這幅看似簡單的作品,過程其實非常困難:要將兩根細小的毛髮打結並固定在顯微鏡下,需要極高的耐心與精細技巧。他嘗試了無數次,才終於拍到滿意的影像。

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對岡特而言,這件不僅包含紀實元素也蘊含情感的作品,除了象徵人類與動物之間的友誼外,人髮與馬鬃在結構上的相似性,也提醒我們所有哺乳動物,乃至所有生物之間的聯繫,遠比我們想像的緊密許多。也因此,應該對地球上所有生物都給予同等的尊重。 岡特的生活依舊以農耕為主,但科學觀察以及對顯微世界藝術性的獨到見解,讓他經營的那片農場,不再只是農務勞作的場所,而是他日復一日汲取靈感的起點,也透過顯微鏡折射出他對自然的無盡好奇。

參考資料

延伸閱讀

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【成語科學】「如膠似漆」到底是什麼膠、什麼漆?

2025-09-26 18:14:59

如膠似漆,是個常見的成語。字面的意思是,像膠或漆一般,緊密地黏合在一起;用來比喻感情堅固,或友誼密切。讓我們造兩個句吧。

這對情侶如膠似漆,整天形影不離。

這幾個人如膠似漆,天天膩在一起。

圖/AI 生成

談起膠,我們想到的可能是膠水、三秒膠、強力膠、白膠等等;談起漆,我們想到的可能是油漆、防鏽漆、水泥漆、洋乾漆等等。這些我們常用的膠和漆,除了洋乾漆,都是化學合成的。洋乾漆既然加上個「洋」字,可見也是外來之物。

那麼成語「如膠似漆」所說的膠和漆是什麼?先說膠,古人使用的膠,全都取自動物,如骨膠、皮膠、魚鳔膠等。骨膠用牲畜的骨骼熬製,皮膠主要用牛皮熬製,魚鳔膠主要用石首魚科的魚鳔曬乾後熬製。這些膠的主要成份都是膠原蛋白。

那麼這些動物膠用在哪些地方呢?譬如,製墨,是將煙料調和上牛皮膠,再加上香料,用模型塑成長方形,乾涸後就成為墨了。畫膠彩畫,用來調和礦物顏料的,主要是骨膠或皮膠。

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古時木匠蓋房子或製作家具,使用榫卯,不用釘子,但接榫處還是要上膠,這樣才能密合。魚鳔膠,由於產量少,通常用來製作高貴家具。將曬乾的魚鳔,加水熬煮,熬成濃汁時,就可用來填充榫卯空隙。

魚標膠也稱作「花膠」,由大型海魚的魚標提煉出來的白色膠狀物體,是中國傳統的名貴食材,目前還能在乾貨店找到。圖/Wikipeida

魚鳔膠還有個重要用處,就是造船。魚鰾膠因為耐水、耐低溫,最適合木船的榫卯黏接。關於膠和造船,有個歷史掌故不能不提。西元前 977 年,周昭王親自率軍南征楚國,或許楚國暗中用計,所徵調的民船,是用膠黏合的,船到中流,在波濤衝擊下,膠溶化了,船體破散,結果全軍覆沒,連周昭王都淹死了。

談完膠,再談漆。古人所說的漆,來自漆樹。將漆樹的樹幹切個切口,下方放塊竹片,讓漆樹流出的樹脂,沿著竹片流進木桶。這些樹脂就是「生漆」。生漆呈黑色,將生漆一層層塗在家具上,或竹、木胎器皿上,乾涸後經過打磨,就成為精美的漆器。

生漆經過日曬、攪拌,脱去部分水份,顏色變成紫紅色或深褐色,成為熟漆。熟漆中如加入顏料,可製成各種色漆,譬如加入朱砂,就成為朱漆。漆器主要有黑色和紅色兩種,前者主要是生漆,後者主要是熟漆。

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漆器源自新石器時代,1978 年在浙江河姆渡文化遺址,出土距今 7000 年的木碗,經化學鑑定,塗料屬於天然漆。其後歷經夏商周三代,到漢代已相當發達,唐宋更加成熟,並逐漸發展出各種工藝。譬如在漆層上雕刻,稱為「雕漆」。在漆器上鑲嵌貝殼,稱為「螺鈿」。在器物上敷上一層麻布、塗一層漆,如此反覆,稱為「夾紵」。

大約隋、唐時期(6-8 世紀),漆器工藝經由朝鮮半島傳到日本。日本人很重視漆器,近代已青出於藍,人們提起漆器,首先會想到日本,不大會想到中國。

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TGV 玻璃基板真能取代矽基板?良率、應力與失效解析全揭密

2025-09-24 13:35:27

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本文轉載自宜特小學堂〈玻璃基板VS矽基板之戰?TGV產品失效真因怎麼找?〉,如果您對半導體產業新知有興趣,歡迎按下右邊的追蹤,就不會錯過宜特科技的最新文章!

挑戰矽霸權?TGV(Through-Glass Via)玻璃基板技術因優異的高頻與低損耗特性,廣泛應用於5G、AIoT、車用雷達等領域,成為先進封裝的新選項。然而,業界在推動 TGV 技術導入時,卻頻繁遇到製程良率、封裝機械強度、以及材料熱失配 (CTE mismatch)等問題。該如何找出失效真因,提升良率呢?

半導體產業正迎來基板材料的重大革新!隨著 AI、高速運算(HPC)與電動車等應用日益蓬勃,因低損耗、高頻特性與成本優勢的需求,利用玻璃基板製作玻璃通孔(TGV, Through-Glass Via)在高階封裝技術發展中逐漸被重視,也成為這股 AI 變革浪潮中,有機會取代矽基板製作的矽中介層(Silicon Interposer)技術的明日之星。

根據業界報導,Intel、Samsung、Hana Technology、Nippon Electric Glass(NEG)等多家半導體與材料大廠,已紛紛投入TGV 的開發與試產,並針對 AI 晶片、高頻模組等應用設計新一代封裝架構。根據 Verified Market Reports 的研究,TGV 技術市場規模預計將由 2024 年的 12 億美元提升至 2033 年的 25 億美元,2026–2033 年預測年均複合成長率為 9.5%,顯示其具備高度競爭價值。

什麼是 TGV 玻璃基板技術?TGV 是一種於玻璃基板上製作「金屬導電孔」(vias)的技術。簡單來說,就是在一片玻璃板上鑽孔,再把導電金屬(如銅)填入孔內,讓電氣訊號得以從玻璃的一面傳輸到另一側。像是在玻璃上開出許多高速通道,讓晶片之間的電訊號可以快速且低損耗地傳輸。 

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圖一:TGV結構示意圖 。圖片來源/iST宜特科技

跟「矽」這位老前輩相比,TGV 的關鍵優勢在於高頻傳輸、絕緣性佳,可視為下一世代 2.5D、3D 等先進封裝的重要技術之一,非常適合應用在 AI、5G、車用雷達等高速模組。然而,業界在導入 TGV 技術時,製程良率、封裝機械強度,以及材料熱失配等問題,將是衝擊可靠度驗證結果與拖慢量產進度的重大瓶頸。

本篇宜特小學堂將根據宜特與業界的實務經驗,分享我們如何透過一站式解決方案,四步驟找出產品失效的根本原因。最後也將分享一則實際案例,讓您更深入了解 TGV 技術的應用與潛在風險。

一、目前 TGV 發展遇到的兩大逆風

  • (一) 製造良率與成本挑戰
    • 玻璃鑽孔問題:目前雷射或化學蝕刻仍存在孔徑形狀不一、表面粗糙度高等問題,影響後續導電性與金屬填充均勻性。
    • 銅填充與擴散風險:填充不均導致孔洞電阻變異,銅擴散至玻璃內部則可能造成絕緣劣化與長期失效。
  • (二) 機械強度與封裝應力
    • 玻璃基板脆性高:玻璃雖剛性高但脆性(Brittleness)大,在製程、封裝壓合、測試或使用過程中易受微裂紋影響而造成電氣異常。
    • 銅與玻璃間熱膨脹係數(CTE)差異大:長期熱應力累積易導致界面剝離。
    圖二: TGV中銅與玻璃間脫層異常。圖片來源/iST宜特科技

    二、時間就是金錢 四大解析步驟快速找出潛在異常點

    接著,我們將不藏私地分享宜特故障分析實驗室如何找出TGV玻璃基板的故障點。透過以下四大步驟,有效協助客戶快速找出潛在故障點並加以改善,適用於TGV初期導入、材料選型、量產前可靠度驗證等階段。

    • 步驟一:創造環境,誘發潛在異常點現形
      • 透過加速老化可靠度實驗,如HAST(Highly Accelerated Stress Test)與 HTS(High Temperature Storage),可評估 TGV 結構在高溫/高濕/高壓環境下的長期穩定性,藉此誘發出結構中可能存在的異常點。此方法可在短時間內模擬數年壽命,快速誘發銅擴散、玻璃界面剝離或導通異常等潛在問題。宜特可依客戶需求調整測試條件(如85°C / 85%RH / 1000小時),並結合後段破壞分析,提高整體測試效能。
    • 步驟二:非破壞檢測TGV缺陷所在區域,快速定位異常點
      • 當有相關電氣漏電失效發生時,可利用亮點分析儀器 (Thermal EMMIOBIRCH) 進行失效點定位;此外,採用高解析度 X-Ray 系統,進行 2D 平面觀察3D 斷層掃描,無需破壞樣品,即可快速掌握 TGV 電性異常物性狀態或銅填孔的完整性。此技術可識別TGV內部填鍍常見的空洞(void)缺陷。我們也可針對高深寬比結構進行局部放大分析,作為後續精細切片的輔助依據。
    • 步驟四:微觀材料結構分析,有效改善潛在風險
      • 切片後可進一步搭配 SEMTEM 觀察穿孔界面狀態,並利用 EDS / EELS 元素分析確認銅擴散路徑與濃度分布,尤其在檢測玻璃內部的微量銅擴散時,此步驟至關重要,有助於建立完整失效機制模型。亦可搭配 EBSD 分析晶粒大小/方向(Grain size/ orientation)、晶界(Grain boundary)特性與殘留應力,有助改善製程與提升可靠度和電氣特性 (閱讀更多: 揭密 TGV 製程中的隱形殺手:EBSD 如何破解應力難題)。

    三、TGV案例分享

    在宜特的 TGV 異常分析經驗中,導致導通失敗的主因多為 TGV 製程中「玻璃穿孔」的穿孔品質不良與「金屬填孔」(多採用電鍍或化學填鍍)的銅填鍍不均。由於 TGV 基板上的微小通孔需完全且均勻填入銅材,才能確保穩定導電路徑,任何玻璃孔蝕刻異常都可能導致導通中斷。同時,若電鍍參數設定不當,易產生孔內空隙、填充不飽滿或柱狀結構不連續等缺陷,進而造成電氣特性異常與封裝失效。

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    在這個案例中,我們可利用 2D X-ray 非破壞分析,進行異常點定位,再搭配 精準切片,並以 SEM 觀察發現銅填充空隙不均,導致部分 TGV 產生無法導通或高阻值異常。經分析後,針對鍍銅條件進行優化與調整填鍍時間,最終成功協助客戶提升銅填孔飽和度與導電一致性,得以提升整體良率。

    圖三:從 2D X-Ray 觀察,產品原先有銅填孔不均的問題,沒有連結在一起的通孔表示導通失敗 (左圖以黃圈標出部分失效處);經過鍍銅條件優化與調整後,提升了銅填孔的飽和度(右圖)。圖片來源/iST宜特科技
    圖四:從 SEM 可清楚看出,製程優化和調整後,最終成功提升銅填孔飽和度。圖片來源/iST宜特科技

    儘管矽中介層技術因「製程成熟」與「散熱佳」,仍是目前應用的主力。然而,TGV 玻璃基板低電氣阻抗、高頻率傳輸與卓越的絕緣特性,成為半導體產業在 AI 加速器、高階通訊及毫米波雷達等前瞻技術趨勢下的關鍵材料之一。隨著全球半導體大廠的積極投入,TGV 玻璃基板有望成為先進封裝領域中極具戰略意義的「明日基板」技術。若能透過有效的故障分析手法加速協助提升 TGV 玻璃基板可靠度與其製程良率,將可大大增加 TGV 及早量產化的可能性。若您喜歡這類產業解讀內容,歡迎追蹤宜特科技臉書,掌握第一手科技新知!

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